光阻材料

光阻劑，亦稱為光阻或光阻劑，是指經過紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X射線等光照或輻射後，溶解度發生變化的耐蝕刻薄膜材料，是微影製程中的關鍵材料，主要應用於積體電路和離散元件的細微圖形加工。